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天津光罩技术全自动影像测量仪江苏影像仪

gm-7060光罩技术全自动影像测量仪
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主要特点

产品特点:
 * 基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
 * 三轴高精度伺服马达传动;
 * 七海专利光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
 * 技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
 * 可搭配激光测头应用;
 * 搭配七海专业版测量软件ef系列软件;
 * 芯片、电路板、铭版、印刷、touch panel等专用测量机型。
 

技术参数:

 型号 gm-7060
 行程(mm) x 700
 y 600
 z 100
 外型尺寸 1860x1270x1680
 工作台大小 1020x920
 工作台承重(kg) 5kg
 机台重量 800kg
 轴向测量精度 xy(3um+5l/1000)um
 平面精度 < 5 μm
 控制方式 自动
 摄像机 sov-a级高解析1/3” 彩色ccd
 sov-a 级测量专用型镜头
 光源轮廓光 led,亮度连续可调
表面光 led,亮度连续可调
 放大倍数 30x-200x(光学放大倍率为0.7-4.5倍)
 选配功能 七海 16向全视角旋转灯源系统
 七海 12段自动变焦镜头
 美国navita测量专用镜头
 触发测头探针组(智慧型探针测量系统)
 激光位移感测系统
 工作距离 90mm
 电源 220 v ± 10% ,50 hz
(用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆)
 工作环境 20℃ ± 2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45% ~ 75%
 振动<0.002g,低于15hz
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