天津光罩技术全自动影像测量仪江苏影像仪
gm-7060光罩技术全自动影像测量仪
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主要特点
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产品特点:
* 基座、立柱、工作台全机采用精密00级花岗岩,降低形变系数,稳定性高;
* 三轴高精度伺服马达传动;
* 七海专利光罩技术测量仪,无光学尺和编码器,无阿贝误差,精度不受机械误差影响;
* 技术突破,悬臂式大行程影像测量仪,高精度,无累计误差;
* 可搭配激光测头应用;
* 搭配七海专业版测量软件ef系列软件;
* 芯片、电路板、铭版、印刷、touch panel等专用测量机型。
技术参数:
型号 | gm-7060 | |
行程(mm) | x | 700 |
y | 600 | |
z | 100 | |
外型尺寸 | 1860x1270x1680 | |
工作台大小 | 1020x920 | |
工作台承重(kg) | 5kg | |
机台重量 | 800kg | |
轴向测量精度 | xy(3um+5l/1000)um | |
平面精度 | < 5 μm | |
控制方式 | 自动 | |
摄像机 | sov-a级高解析1/3” 彩色ccd | |
sov-a 级测量专用型镜头 | ||
光源 | 轮廓光 | led,亮度连续可调 |
表面光 | led,亮度连续可调 | |
放大倍数 | 30x-200x(光学放大倍率为0.7-4.5倍) | |
选配功能 | 七海 16向全视角旋转灯源系统 | |
七海 12段自动变焦镜头 | ||
美国navita测量专用镜头 | ||
触发测头探针组(智慧型探针测量系统) | ||
激光位移感测系统 | ||
工作距离 | 90mm | |
电源 | 220 v ± 10% ,50 hz (用电设备要求接地可靠:接地电阻小于4欧姆) | |
工作环境 | 20℃ ± 2℃,温度变化<2℃/hr,湿度45% ~ 75% | |
振动<0.002g,低于15hz |
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本产品的加工定制是是,品牌是福斯德,型号是GM-7060,分辨率是见说明(mm),测量行程是900*900(mm),放大倍率是见说明,操作方式是程序控制,测量精度是见说明,外形尺寸(长*宽*高)是见说明(mm)
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